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发明名称
FORMATION OF FUNCTIONAL SILICON NITRIDE FILM HAVING GENERAL PURPOSE CHARACTERISTIC
摘要
申请公布号
JPH0463278(A)
申请公布日期
1992.02.28
申请号
JP19900172729
申请日期
1990.07.02
申请人
CANON INC
发明人
SUZUKI NOBUMASA
分类号
C23C16/34;C23C16/50
主分类号
C23C16/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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