发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM DRAWING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0463420(A) 申请公布日期 1992.02.28
申请号 JP19900175723 申请日期 1990.07.03
申请人 JEOL LTD 发明人 NAKANODA SHINJI
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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