| 发明名称 |
TEMPERATURE MEASURING INSTRUMENT FOR INORGANIC BASE MATERIAL AND HEATER UTILIZING THE SAME |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0463281(A) |
申请公布日期 |
1992.02.28 |
| 申请号 |
JP19900173722 |
申请日期 |
1990.06.29 |
| 申请人 |
NGK INSULATORS LTD |
发明人 |
SOMA TAKAO;USHIGOE RYUSUKE |
| 分类号 |
C23C16/46;C23C16/52;F27D21/00;G05D23/22;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/46 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
