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发明名称 MICROWAVE PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0463275(A) 申请公布日期 1992.02.28
申请号 JP19900175646 申请日期 1990.07.02
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 INOUE TAKU;TANAKA MASAHIKO;KONDO MASASHI
分类号 H05H1/46;C23C14/35;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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