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发明名称 INSPECTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0462857(A) 申请公布日期 1992.02.27
申请号 JP19900167138 申请日期 1990.06.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YAMASHITA HIROSHI
分类号 H01J37/28;H01L21/66 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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