发明名称 SIMULATING APPARATUS FOR MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0462848(A) 申请公布日期 1992.02.27
申请号 JP19900167135 申请日期 1990.06.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NAGASHIMA ATSUSHI
分类号 H01L29/73;H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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