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经营范围
发明名称
GERAET ZUM BESTRAHLEN VON ELEKTRONISCHEN SCHALTUNGEN.
摘要
申请公布号
DE3775993(D1)
申请公布日期
1992.02.27
申请号
DE19873775993
申请日期
1987.05.22
申请人
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT DE CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL, PARIS, FR
发明人
MUSSEAU, OLIVIER, F-91160 LONGJUMEAU, FR;DESCHAZEAUX, GERARD, F-91800 BRUNOY, FR
分类号
G21K5/02;G01R31/302;G01R31/3183;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28
主分类号
G21K5/02
代理机构
代理人
主权项
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