发明名称 |
METHOD FOR TAKING OUT OXYGEN BIVALENT ION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0462747(A) |
申请公布日期 |
1992.02.27 |
申请号 |
JP19900172742 |
申请日期 |
1990.07.02 |
申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
YAMAZAKI HAJIME;WATANABE KAZUO;ISHIDA AKIRA |
分类号 |
C23C14/48;H01J37/05;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
C23C14/48 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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