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发明名称 WASHING OF TEFLON CARRIER
摘要
申请公布号 JPH0461328(A) 申请公布日期 1992.02.27
申请号 JP19900173920 申请日期 1990.06.29
申请人 SHARP CORP 发明人 OKI ICHIRO
分类号 B08B3/10;H01L21/304 主分类号 B08B3/10
代理机构 代理人
主权项
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