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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0462841(A) 申请公布日期 1992.02.27
申请号 JP19900166049 申请日期 1990.06.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ONO YOSHIKAZU
分类号 H01L21/768;H01L21/31;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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