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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0462919(A) 申请公布日期 1992.02.27
申请号 JP19900175002 申请日期 1990.07.02
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUGAYA SHINJI;NAKAMURA SANEYA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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