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发明名称 RESIST COATING PROCESS
摘要
申请公布号 JPH0462915(A) 申请公布日期 1992.02.27
申请号 JP19900174221 申请日期 1990.06.30
申请人 SONY CORP 发明人 IKEDA RIKIO
分类号 G03F7/16;B05D1/40;B05D3/04;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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