发明名称 |
JOSEPHSON JUNCTION AND INTEGRATED CIRCUIT THEREOF AND MANUFACTURE OF JOSEPHSON JUNCTION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0461178(A) |
申请公布日期 |
1992.02.27 |
申请号 |
JP19900164674 |
申请日期 |
1990.06.22 |
申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
AOYANAGI MASAHIRO;NAKAGAWA HIROSHI |
分类号 |
H01L27/18;H01L39/22;H01L39/24 |
主分类号 |
H01L27/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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