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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0461118(A) 申请公布日期 1992.02.27
申请号 JP19900164508 申请日期 1990.06.22
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MURAOKA TORU
分类号 H01L23/52;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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