| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0461254(A) |
申请公布日期 |
1992.02.27 |
| 申请号 |
JP19900170801 |
申请日期 |
1990.06.25 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
OKUDAIRA TOMOHITO;OKUMURA YOSHIKI |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
