| 发明名称 |
DOPPELPLASMA-MIKROWELLENGERAET UND OBERFLAECHENBEARBEITUNGSVERFAHREN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3776106(D1) |
申请公布日期 |
1992.02.27 |
| 申请号 |
DE19873776106 |
申请日期 |
1987.06.10 |
| 申请人 |
UNIV MICHIGAN |
发明人 |
ROPPEL A;ASMUSSEN JES;REINHARD K |
| 分类号 |
C23C14/02;H01J27/16;H01J27/18;H01J37/32;(IPC1-7):H01J27/18 |
主分类号 |
C23C14/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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