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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 US5091050(A) 申请公布日期 1992.02.25
申请号 US19880175284 申请日期 1988.03.30
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 FUJINO, MAKOTO;HASEGAWA, ISAHIRO;ITO, MASAO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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