发明名称 OBJECT HOLDER FOR SUPPORTING AN OBJECT IN A CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM
摘要
申请公布号 US5091651(A) 申请公布日期 1992.02.25
申请号 US19900600460 申请日期 1990.10.19
申请人 U.S. PHILIPS CORP. 发明人 HOKKE, ROBIN
分类号 H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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