发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0457362(A) 申请公布日期 1992.02.25
申请号 JP19900166608 申请日期 1990.06.27
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 UMETANI MASATO
分类号 H01L21/761;H01L21/76;H01L21/8238;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/78 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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