发明名称 FORMING METHOD OF POLYSCDE ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0457322(A) 申请公布日期 1992.02.25
申请号 JP19900168853 申请日期 1990.06.27
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 HAIDA OSAMU
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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