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发明名称 ELECTRON BEAM SOURCE
摘要
申请公布号 JPH0458445(A) 申请公布日期 1992.02.25
申请号 JP19900166253 申请日期 1990.06.25
申请人 RIKAGAKU KENKYUSHO 发明人 HARA TAMIO;HAMAGAKI MANABU;AOYANAGI KATSUNOBU
分类号 H01J37/065;H01J37/077;H01J37/305;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01J37/065
代理机构 代理人
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