| 发明名称 |
Resist oxidizer with catalytic reactor |
| 摘要 |
A catalytic reactor is used in the exhaust tract of a high pressure, high flow rate ozone asher to prevent resist deposit fouling of the exhaust tract.
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| 申请公布号 |
US5273723(A) |
申请公布日期 |
1993.12.28 |
| 申请号 |
US19920883015 |
申请日期 |
1992.05.14 |
| 申请人 |
FUSION SYSTEMS CORPORATION |
发明人 |
GUSTAFSON, PAUL S. |
| 分类号 |
B01D53/86;G03F7/42;(IPC1-7):B01D50/00;B01D53/34 |
主分类号 |
B01D53/86 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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