发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING METAL LAYER OF LAMINATED STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH0456135(A) 申请公布日期 1992.02.24
申请号 JP19900163374 申请日期 1990.06.21
申请人 NEC CORP 发明人 AKIMOTO KENJI
分类号 H01L21/3213;H01L21/3205 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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