发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0456268(A) 申请公布日期 1992.02.24
申请号 JP19900167156 申请日期 1990.06.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 ISHIKAWA KATSUYA
分类号 H01L21/76;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/41;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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