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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0456324(A) 申请公布日期 1992.02.24
申请号 JP19900165757 申请日期 1990.06.26
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAKAHASHI EIZABURO
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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