发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0456322(A) 申请公布日期 1992.02.24
申请号 JP19900170910 申请日期 1990.06.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TORII YUTAKA
分类号 H01L21/31;H01L21/324 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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