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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0410226(B2)
申请公布日期
1992.02.24
申请号
JP19820139932
申请日期
1982.08.13
申请人
发明人
分类号
H01L29/78;H01L21/76;H01L21/8249;H01L27/00;H01L27/06;H01L27/092
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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