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发明名称 SUBSTRATE HEATER FOR VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0456764(A) 申请公布日期 1992.02.24
申请号 JP19900165212 申请日期 1990.06.21
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HANAI MASAHIRO
分类号 C23C14/50;H01L21/203 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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