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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0456122(A) 申请公布日期 1992.02.24
申请号 JP19900162660 申请日期 1990.06.22
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 OKU SATORU;IKEDA MASAHIRO;KATO HARUSHIGE;SHIBATA YASUO
分类号 H01S5/00;H01L21/027 主分类号 H01S5/00
代理机构 代理人
主权项
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