发明名称 SPECIMEN TABLE FOR SCAN TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0456053(A) 申请公布日期 1992.02.24
申请号 JP19900164525 申请日期 1990.06.22
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 WARATANI SHUZO
分类号 G01N27/00;H01J37/20 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
主权项
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