发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0456246(A) 申请公布日期 1992.02.24
申请号 JP19900167206 申请日期 1990.06.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NAKAOKA HISASHI;YAMAGUCHI YUKIO;WAGA SATORU
分类号 H01L21/66;H01L21/321;H01L21/60 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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