发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0456246(A) |
申请公布日期 |
1992.02.24 |
申请号 |
JP19900167206 |
申请日期 |
1990.06.25 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
NAKAOKA HISASHI;YAMAGUCHI YUKIO;WAGA SATORU |
分类号 |
H01L21/66;H01L21/321;H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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