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发明名称 PRODUCTION OF ALPHA-SIC SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0455397(A) 申请公布日期 1992.02.24
申请号 JP19900161794 申请日期 1990.06.20
申请人 MITSUI ENG & SHIPBUILD CO LTD 发明人 NISHINO SHIGEHIRO
分类号 C30B23/02;C30B29/36;H01L21/203 主分类号 C30B23/02
代理机构 代理人
主权项
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