申请人 |
SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP;KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP |
发明人 |
NAKAMURA, AKIO, KITAMOTO-SHI SAITAMA-KEN, JP;KODAMA, NAOKI, OMIYA-SHI SAITAMA-KEN, JP;HAYASHI, OSAMI, OMIYA-SHI SAITAMA-KEN, JP;SAITA, HIROFUMI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP |