| 摘要 |
<P>L'invention concerne un procédé pour produire un détecteur d'image CCD du type à autoalignement, qui consiste à former une zone de réception de lumière (12) et une zone de transmission (13) dans un substrat (11); à recouvrir le substrat d'un film d'oxyde formant porte (14) et d'un film de polysilicium formant porte (15), pour ensuite éliminer ce dernier uniquement au niveau de la partie située au-dessus de la zone (12); à déposer par métallisation sous vide un métal réfractaire sur la totalité de la surface décapée, pour ensuite transformer le métal réfractaire en un siliciure (17) au niveau de la partie en contact avec le film (15) à l'aide d'un procédé de recuit; et à éliminer le métal réfractaire au niveau de la partie restant sur le film (14).</P>
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