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发明名称 PROCEDE ET DISPOSITIF DE DETERMINATION DES CONDITIONS D'ELIMINATION D'HYDRURES GAZEUX TELS SILANES, ARSINE, PHOSPHINE ET AUTRES.
摘要
申请公布号 FR2654362(B1) 申请公布日期 1992.02.21
申请号 FR19890014829 申请日期 1989.11.13
申请人 AIR LIQUIDE 发明人 CORNUT PHILIPPE;DELOBEL OLIVIER;LEONDARIDIS PAUL
分类号 B01D53/46;G01N25/48;(IPC1-7):B01D53/34 主分类号 B01D53/46
代理机构 代理人
主权项
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