发明名称 (A) ;PRODUCTION OF EPSILON-CAPROLACTONE
摘要
申请公布号 JPH049378(B2) 申请公布日期 1992.02.20
申请号 JP19810023017 申请日期 1981.02.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/082;H01L29/10;H01L29/73 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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