发明名称 Laitteisto substraatin päällystämiseksi
摘要
申请公布号 FI920733(A0) 申请公布日期 1992.02.20
申请号 FI19920000733 申请日期 1992.02.20
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 LATZ, RUDOLF
分类号 C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C/ 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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