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经营范围
发明名称
Laitteisto substraatin päällystämiseksi
摘要
申请公布号
FI920733(A0)
申请公布日期
1992.02.20
申请号
FI19920000733
申请日期
1992.02.20
申请人
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
LATZ, RUDOLF
分类号
C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C/
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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