发明名称 SUBSTRATE WHIRLING PLATE
摘要 Un plateau de centrifugation de substrats (24) comprend à la surface du disque de centrifugation (10) un joint d'étanchéité continu (36) qui s'appuie de bas en haut sur le bord (28) du substrat (24). Le substrat (24) peut ainsi être retenu par aspiration sur le disque de centrifugation (10). Afin de centrer le substrat (24), un organe de pression (60) est déplacé par aspiration contre le bord (28) du substrat et presse celui-ci contre des butées de centrage de blocs d'appui (30).
申请公布号 WO9202949(A1) 申请公布日期 1992.02.20
申请号 WO1991EP01405 申请日期 1991.07.26
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BOEHMER, GUDRUN;GENTISCHER, JOSEF;LEHNER, ROLF;MODJESCH, DIETER;SCHMUTZ, WOLFGANG
分类号 B05C11/08;B25H1/14;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/683 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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