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发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN EINER NIEDERGESCHLAGENEN SCHICHT.
摘要
申请公布号 DE3683364(D1) 申请公布日期 1992.02.20
申请号 DE19863683364 申请日期 1986.12.17
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SAITOH, KEISHI, NABARI-SHI MIE-KEN, JP;HIROOKA, MASAAKI, TORIDE-SHI IBARAKI-KEN, JP;HANNA, JUNICHI;SHIMIZU, ISAMU, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 H01L31/04;C23C16/30;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/48;C23C16/50;G03G5/08;G03G5/082;H01L21/205;H01L31/02;H01L31/075;H01L31/18;H01L31/20;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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