发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0451524(A) 申请公布日期 1992.02.20
申请号 JP19900160614 申请日期 1990.06.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUKIAGE TAKAHIKO;NAGAYAMA YASUHARU
分类号 H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址