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发明名称 MANUFACTURE OF ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPH0453129(A) 申请公布日期 1992.02.20
申请号 JP19900157596 申请日期 1990.06.18
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 NAKAJIMA NAGAAKI;MAKIMURA TAKASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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