发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0451514(A) 申请公布日期 1992.02.20
申请号 JP19900159957 申请日期 1990.06.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IIZUKA JUNICHI
分类号 H01L21/20;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利