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Un dispositif de gravure d'une seule face d'une tranche semi-conductrice (galette de silicium) comprend un corps de base (3, 23) en forme de cuvette, sur lequel s'adapte hermétiquement un couvercle (2, 22), à la manière d'une boîte de gravure. Le couvercle (2, 22) est pourvu sur son côté supérieur d'une ouverture (5, 25) de passage du liquide corrosif. La boîte de gravure porte au moins deux joints toriques d'étanchéité (7, 8, 27, 28), dont le premier est monté centralement dans le corps de base (3, 23) et l'autre est monté centralement dans le couvercle (2, 22). La galette (10) est serrée entre les joints toriques d'étanchéité (7, 8, 27, 28). Un fil métallique (10) d'un contact à ressort (11, 41) relié à la galette sort de la boîte de gravure par un passage (4) qui traverse le corps de base (3, 23). |
