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经营范围
发明名称
HUBTISCH UND TRANSPORTVERFAHREN
摘要
申请公布号
DD298450(A5)
申请公布日期
1992.02.20
申请号
DD19900340445
申请日期
1990.05.07
申请人
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT,FL
发明人
WAGNER,RUDOLF,DE;HIRSCHER,HANS,CH
分类号
B23Q3/08;B65G49/00;C23C14/50;C23C14/54;C30B25/10;C30B25/12;C30B31/14;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
B23Q3/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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