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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0453233(A)
申请公布日期
1992.02.20
申请号
JP19900161451
申请日期
1990.06.21
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
HORIUCHI HIDETAKA;ARIYOSHI RYUJI
分类号
H01L21/3205;H01L21/316
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
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