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发明名称
摘要
申请公布号	JPH08501907(A)	申请公布日期	1996.02.27
申请号	JP19950505301	申请日期	1994.07.21
申请人		发明人
分类号	H01L21/60;B23K20/02;B23K20/10;H01L21/00;H01L21/603;H05K3/32;(IPC1-7):H01L21/60	主分类号	H01L21/60
代理机构		代理人
主权项
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