发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0451527(A) 申请公布日期 1992.02.20
申请号 JP19900160624 申请日期 1990.06.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HANIBUCHI TOSHIAKI;UEDA MASAHIRO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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