| 发明名称 |
METHOD FOR ETCHING GROUP III-V COMPOUND CRYSTAL AND ETCHING SOLUTION THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0450200(A) |
申请公布日期 |
1992.02.19 |
| 申请号 |
JP19900160089 |
申请日期 |
1990.06.18 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
NITTA TOSHIYUKI |
| 分类号 |
C30B29/40;C30B33/10;H01L21/308 |
主分类号 |
C30B29/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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