| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM OBSERVATION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0451441(A) |
申请公布日期 |
1992.02.19 |
| 申请号 |
JP19900159733 |
申请日期 |
1990.06.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MAEDA SHUNJI;KUBOTA HITOSHI;ICHIHASHI MIKIO;MATSUI HIRONOBU |
| 分类号 |
G01B15/00;H01J37/22;H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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