| 发明名称 |
OPTICAL PROCESSING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0449623(A) |
申请公布日期 |
1992.02.19 |
| 申请号 |
JP19900158687 |
申请日期 |
1990.06.19 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
KAWATE SHINICHI;SATO YASUE;KOMATSU TOSHIYUKI |
| 分类号 |
H01L21/3213;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3205 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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